↓ Direkt till sidans innehåll
↓ Direkt till sidans sekundära innehåll (sidomenyn)

Träfflista för sökning "WFRF:(Barklund AM) "

Sökning: WFRF:(Barklund AM)

Resultat 1-10 av 14

Sortera/gruppera träfflistan

Sortering: Träffar per sida:

Numrering	Referens	Omslagsbild	Hitta
1.	Bardos, Ladislav, et al. (författare) the very high rate plasma jet dry etching technique 1990 Ingår i: Journal of the Electrochemical Society. - 0013-4651 .- 1945-7111. ; 137:5, s. 1588-1591 Tidskriftsartikel (refereegranskat)
2.	Barklund, AM, et al. (författare) Angular dependence on reactive ion beam etching 1990 Ingår i: Vuoto. ; XX:2, s. 467- Tidskriftsartikel (refereegranskat)
3.	Barklund, AM, et al. (författare) Basic studies of the RIBE process applied to the MOS gate spacer technology 1990 Konferensbidrag (refereegranskat)
4.	Barklund, AM, et al. (författare) Influence of different etching mechanisms on the angular dependence of silicon nitride etching 1993 Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films. - 0734-2101 .- 1520-8559. ; 11:4, s. 1226-1229 Tidskriftsartikel (refereegranskat)
5.	Barklund, AM, et al. (författare) Ion-assisted selective deposition of aluminium for via-hole interconnections 1993 Ingår i: Vacuum. - 0042-207X .- 1879-2715. ; 44:3-4, s. 197-201 Tidskriftsartikel (refereegranskat)
6.	Barklund, AM, et al. (författare) Patterning of silicon wafers using the plasma jet dry etching technique 1989 Konferensbidrag (refereegranskat)
7.	Barklund, AM, et al. (författare) Patterning of silicon wafers using the plasma jet dry etching technique 1990 Ingår i: Vacuum. - 0042-207X .- 1879-2715. ; 41:4 Tidskriftsartikel (refereegranskat)
8.	Barklund, AM, et al. (författare) Plasma jet dry etching of silicon based compounds 1990 Konferensbidrag (refereegranskat)
9.	Berg, Sören, et al. (författare) Atom assisted sputtering yield amplification 1992 Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films. - 0734-2101 .- 1520-8559. ; 10:4, s. 1592-1596 Tidskriftsartikel (refereegranskat)
10.	Berg, Sören, et al. (författare) Sputte erosion amplification 1992 Ingår i: Surface and Coatings Technology. ; 54-55, s. 131-135 Tidskriftsartikel (refereegranskat)

Skapa referenser, mejla, bekava och länka

Länka till träfflistan

Resultat 1-10 av 14

Avgränsa träffmängd

Typ av publikation: tidskriftsartikel (10); konferensbidrag (4)

Typ av innehåll: refereegranskat (14)

Författare/redaktör: Barklund, AM (14); Berg, Sören (13); Blom, Hans-Olof (7); Nender, C (7); Katardjiev, Ilia V (5); Carlsson, P (3); visa fler...; Lindberg, A (2); Norström, H (2); Bardos, Ladislav (2); Gelin, B (2); Barankova, Hana (1); Bardos, L (1); Katardjiev, IV (1); Biersack, JP (1); visa färre...

Lärosäte: Uppsala universitet (14)

Språk: Engelska (14)

År

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
LIBRIS.kb.se

pil uppåt

Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy