SwePub
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "id:"swepub:oai:DiVA.org:kth-19944" "

Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:kth-19944"

  • Resultat 1-1 av 1
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  • Hansson, B. A. M., et al. (författare)
  • A liquid-xenon-jet laser-plasma X-ray and EUV source
  • 2000
  • Ingår i: Microelectronic Engineering. - 0167-9317 .- 1873-5568. ; 53:04-jan, s. 667-670
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
    • We describe a laser-plasma soft-x-ray source based on a cryogenic-xenon liquid-jet target. The source is suitable for extreme ultraviolet (EUV) projection lithography and proximity x-ray lithography (PXL). Absolute calibrated spectra in the 1-2 nm range and uncalibrated spectra in the 9-15 nm range are obtained using a free-standing transmission grating and a CCD-detector.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-1 av 1
Typ av publikation
tidskriftsartikel (1)
Typ av innehåll
refereegranskat (1)
Författare/redaktör
Berglund, M (1)
Rymell, L. (1)
Hertz, Hans M. (1)
Hansson, B. A. M. (1)
Lärosäte
Kungliga Tekniska Högskolan (1)
Språk
Engelska (1)
År
2000 (1)

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy