SwePub
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "id:"swepub:oai:research.chalmers.se:324074ac-d7d0-4bce-ad1e-01e3472feec6" "

Sökning: id:"swepub:oai:research.chalmers.se:324074ac-d7d0-4bce-ad1e-01e3472feec6"

  • Resultat 1-1 av 1
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  • Soderbarg, Anders, et al. (författare)
  • Evaluation of silicon device processes aimed for silicon-on-diamond material
  • 1995
  • Ingår i: 1995 IEEE International SOI Conference Proceedings. ; , s. 104-
  • Konferensbidrag (refereegranskat)abstract
    • Silicon-on-Diamond (SOD) is a candidate for the next generation of SOI materials, especially for applications requiring high heat spreading capability. Undoped diamond is a highly electrically insulating material at temperatures below 600 K. Resistivities above 1013 Ωcm (at 10 V) and breakdown fields above 107 V/cm have been reported. Diamond conducts heat about 10 times better than silicon and more than 1000 times better than silicon dioxide. In this paper, necessary process modifications for successful manufacturing of devices on SOD-materials are discussed and evaluated
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-1 av 1
Typ av publikation
konferensbidrag (1)
Typ av innehåll
refereegranskat (1)
Författare/redaktör
Bengtsson, Stefan, 1 ... (1)
Edholm, Bengt (1)
Soderbarg, Anders (1)
Lärosäte
Chalmers tekniska högskola (1)
Språk
Engelska (1)
Forskningsämne (UKÄ/SCB)
Teknik (1)
År
1995 (1)

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy