SwePub
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "id:"swepub:oai:research.chalmers.se:5156233b-45ee-4ec0-a257-70fc8cc9214e" "

Sökning: id:"swepub:oai:research.chalmers.se:5156233b-45ee-4ec0-a257-70fc8cc9214e"

  • Resultat 1-1 av 1
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  • Ljungberg, Karin, et al. (författare)
  • Optimized cleaning processes for silicon wafer bonding
  • 1996
  • Ingår i: Proceedings of the Third International Symposium on Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces. UCPSS '96. ; , s. 123-
  • Konferensbidrag (refereegranskat)abstract
    • The use of SPFM (H2SO4-H2O2-HF) at low HF concentrations (10-1000 ppm) has been investigated as a pre-cleaning procedure for silicon direct bonding. This cleaning procedure can be tuned to simultaneously give hydrophilic surface properties, ensuring good bondability, and excellent electric properties, crucial for the application of direct bonding in device applications
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-1 av 1
Typ av publikation
konferensbidrag (1)
Typ av innehåll
refereegranskat (1)
Författare/redaktör
Bengtsson, Stefan, 1 ... (1)
Ljungberg, Karin (1)
Lärosäte
Chalmers tekniska högskola (1)
Språk
Engelska (1)
Forskningsämne (UKÄ/SCB)
Teknik (1)
År
1996 (1)

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy