Metrology of 3D microstructures : a demanding task with surprising results

Ämnesord

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER  -- Maskinteknik -- Produktionsteknik, arbetsvetenskap och ergonomi (hsv//swe)

ENGINEERING AND TECHNOLOGY  -- Mechanical Engineering -- Production Engineering, Human Work Science and Ergonomics (hsv//eng)

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER  -- Nanoteknik (hsv//swe)

ENGINEERING AND TECHNOLOGY  -- Nano-technology (hsv//eng)

Nyckelord

Micro metrology

high aspect ratio micro structures

optical profilers

Publikations- och innehållstyp

vet (ämneskategori)

kon (ämneskategori)