Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-153862" >
Wafer Scale Graphen...
Wafer Scale Graphene Transfer for Back End of the Line Device Integration
-
- Smith, Anderson (författare)
- KTH,Integrerade komponenter och kretsar
-
- Vaziri, Sam (författare)
- KTH,Integrerade komponenter och kretsar
-
- Rodriguez, Saul (författare)
- KTH,Integrerade komponenter och kretsar
-
visa fler...
-
- Östling, Mikael (författare)
- KTH,Integrerade komponenter och kretsar
-
Lemme, M. C. (författare)
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2014
- 2014
- Engelska.
-
Ingår i: INT CONF ULTI INTEGR. - 2330-5738. ; , s. 29-32
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- We report on a wafer scale fabrication of graphene based field effect transistors (GFETs) for use in future radio frequency (RF) and sensor applications. The process is also almost entirely CMOS compatible and uses a scalable graphene transfer method that can be incorporated in standard CMOS back end of the line (BEOL) process flows. Such a process can be used to integrate high speed GFET devices and graphene sensors with silicon CMOS circuits.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- graphene
- transistors
- graphene transfer
- wafer scale
- GFET
- more than Moore
- Moore's Law
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas