Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-41668" >
Ion implantation pr...
-
Svensson, B.G.
(författare)
Ion implantation processing and related effects in SiC
- Artikel/kapitelEngelska2006
Förlag, utgivningsår, omfång ...
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kth-41668
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-41668URI
-
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.527-529.781DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:kon swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
QC 20111003
-
A brief survey is given of some recent progress regarding ion implantation processing and related effects in 4H- and 6H-SiC. Four topics are discussed; an empirical ion range distribution simulator, dynamic defect annealing during implantation, formation of highly p(+)-doped layers, and deactivation of N donors by ion-induced defects.
Ämnesord och genrebeteckningar
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Hallén, AndersKTH,Mikroelektronik och Informationsteknik, IMIT(Swepub:kth)u11ywmz1
(författare)
-
Wong-Leung, J.
(författare)
-
Janson, Martin S.KTH,Mikroelektronik och Informationsteknik, IMIT(Swepub:kth)u12gbokq
(författare)
-
Linnarsson, MargaretaKTH,Mikroelektronik och Informationsteknik, IMIT(Swepub:kth)u1x6y4ru
(författare)
-
Kuznetsov, A. Yu.
(författare)
-
Alfieri, G.
(författare)
-
Grossner, U.
(författare)
-
Monakhov, E.V.
(författare)
-
Kortegaard Nielsen, HanneKTH,Mikroelektronik och Informationsteknik, IMIT(Swepub:kth)u1mopn1t
(författare)
-
Jagadish, C.
(författare)
-
Grillenberger, J.
(författare)
-
KTHMikroelektronik och Informationsteknik, IMIT
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Silicon Carbide and Related Materials 2005, Pts 1 and 2, s. 781-7869780878494255
Internetlänk
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Svensson, B.G.
-
Hallén, Anders
-
Wong-Leung, J.
-
Janson, Martin S ...
-
Linnarsson, Marg ...
-
Kuznetsov, A. Yu ...
-
visa fler...
-
Alfieri, G.
-
Grossner, U.
-
Monakhov, E.V.
-
Kortegaard Niels ...
-
Jagadish, C.
-
Grillenberger, J ...
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Materialteknik
- Artiklar i publikationen
-
Silicon Carbide ...
- Av lärosätet
-
Kungliga Tekniska Högskolan