Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-42038" >
Device integration ...
Device integration issues towards 10 nm MOSFETs
-
- Östling, Mikael (författare)
- KTH,Mikroelektronik och Informationsteknik, IMIT
-
- Malm, B. Gunnar (författare)
- KTH,Mikroelektronik och Informationsteknik, IMIT
-
- von Haartman, Martin (författare)
- KTH,Mikroelektronik och Informationsteknik, IMIT
-
visa fler...
-
- Hållstedt, Julius (författare)
- KTH,Mikroelektronik och Informationsteknik, IMIT
-
- Zhang, Zhen (författare)
- KTH,Mikroelektronik och Informationsteknik, IMIT
-
- Hellstrom, Per-Erik (författare)
- KTH,Integrerade komponenter och kretsar
-
- Zhang, Shili (författare)
- KTH,Mikroelektronik och Informationsteknik, IMIT
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- NEW YORK, NY : IEEE, 2006
- 2006
- Engelska.
-
Ingår i: 2006 25TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICROELECTRONICS, VOLS 1 AND 2, PROCEEDINGS. - NEW YORK, NY : IEEE. - 142440116X ; , s. 25-30
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- An overview of critical integration issues for future generation MOSFETs towards 10 nm gate length is presented. Novel materials and innovative structures are discussed. Implementation of high K gate dielectrics is presented and device performance is demonstrated for TiN metal gate surface channel SiGe MOSFETs with a gate stack based on ALD-formed HfO(2)/Al(2)O(3). Low frequency noise properties for those devices are also analyzed. A selective SiGe epitaxy process for low resistivity source/drain contacts has been developed and implemented in pMOSFETs. A spacer pattering technology using optical lithography to fabricate sub 50 nm high-frequency MOSFETs and nanowires is demonstrated, Finally ultra thin body Sol devices with high mobility SiGe channels are demonstrated.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas