Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-50557" >
Leakage current eff...
Leakage current effects on C-V plots of high-k metal-oxide-semiconductor capacitors
-
- Lu, Y. (författare)
- University of Liverpool
-
- Hall, S. (författare)
- University of Liverpool
-
- Tan, L. Z. (författare)
- University of Liverpool
-
visa fler...
-
- Mitrovic, I. Z. (författare)
- University of Liverpool
-
- Davey, W. M. (författare)
- University of Liverpool
-
- Raeissi, Bahman, 1979 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Engström, Olof, 1943 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Cherkaoui, K. (författare)
- Tyndall National Institute at National University of Ireland, Cork
-
- Monaghan, S. (författare)
- Tyndall National Institute at National University of Ireland, Cork
-
- Hurley, P. K. (författare)
- Tyndall National Institute at National University of Ireland, Cork
-
Gottlob, H. D. B. (författare)
-
- Lemme, Max C., 1970- (författare)
- AMO GmbH, AMICA, Aachen, Germany
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- American Vacuum Society, 2009
- 2009
- Engelska.
-
Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology B. - : American Vacuum Society. - 1071-1023 .- 1520-8567 .- 2166-2754 .- 2166-2746. ; 27:1, s. 352-355
- Relaterad länk:
-
http://dx.doi.org/10...
-
visa fler...
-
https://urn.kb.se/re...
-
https://doi.org/10.1...
-
https://research.cha...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- With the employment of ultrathin, high dielectric constant gate materials in advanced semiconductor technology, the conventional capacitance-voltage measurement technique exhibits a series of anomalies. In particular, a nonsaturating increase in the accumulation capacitance with reducing measurement frequency is frequently observed, which has not been adequately explained to our knowledge. In this article, the authors provide an explanation for this anomaly and hence set a criterion for the lower bound on measurement frequency. We then present a model which allows the easy extraction of the required parameters and apply it to an experimental set of data.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Nanoteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Nano-technology (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Lu, Y.
-
Hall, S.
-
Tan, L. Z.
-
Mitrovic, I. Z.
-
Davey, W. M.
-
Raeissi, Bahman, ...
-
visa fler...
-
Engström, Olof, ...
-
Cherkaoui, K.
-
Monaghan, S.
-
Hurley, P. K.
-
Gottlob, H. D. B ...
-
Lemme, Max C., 1 ...
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Nanoteknik
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Elektroteknik oc ...
- Artiklar i publikationen
-
Journal of Vacuu ...
- Av lärosätet
-
Kungliga Tekniska Högskolan
-
Chalmers tekniska högskola