Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-50557" >
Leakage current eff...
-
Lu, Y.University of Liverpool
(författare)
Leakage current effects on C-V plots of high-k metal-oxide-semiconductor capacitors
- Artikel/kapitelEngelska2009
Förlag, utgivningsår, omfång ...
-
American Vacuum Society,2009
-
printrdacarrier
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kth-50557
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-50557URI
-
https://doi.org/10.1116/1.3025910DOI
-
https://research.chalmers.se/publication/92390URI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:art swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
QC 20120227
-
With the employment of ultrathin, high dielectric constant gate materials in advanced semiconductor technology, the conventional capacitance-voltage measurement technique exhibits a series of anomalies. In particular, a nonsaturating increase in the accumulation capacitance with reducing measurement frequency is frequently observed, which has not been adequately explained to our knowledge. In this article, the authors provide an explanation for this anomaly and hence set a criterion for the lower bound on measurement frequency. We then present a model which allows the easy extraction of the required parameters and apply it to an experimental set of data.
Ämnesord och genrebeteckningar
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Hall, S.University of Liverpool
(författare)
-
Tan, L. Z.University of Liverpool
(författare)
-
Mitrovic, I. Z.University of Liverpool
(författare)
-
Davey, W. M.University of Liverpool
(författare)
-
Raeissi, Bahman,1979Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology(Swepub:cth)raeissin
(författare)
-
Engström, Olof,1943Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology(Swepub:cth)oleng
(författare)
-
Cherkaoui, K.Tyndall National Institute at National University of Ireland, Cork
(författare)
-
Monaghan, S.Tyndall National Institute at National University of Ireland, Cork
(författare)
-
Hurley, P. K.Tyndall National Institute at National University of Ireland, Cork
(författare)
-
Gottlob, H. D. B.
(författare)
-
Lemme, Max C.,1970-AMO GmbH, AMICA, Aachen, Germany(Swepub:kth)u1m2eozy
(författare)
-
University of LiverpoolChalmers tekniska högskola
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Journal of Vacuum Science & Technology B: American Vacuum Society27:1, s. 352-3551071-10231520-85672166-27542166-2746
Internetlänk
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Lu, Y.
-
Hall, S.
-
Tan, L. Z.
-
Mitrovic, I. Z.
-
Davey, W. M.
-
Raeissi, Bahman, ...
-
visa fler...
-
Engström, Olof, ...
-
Cherkaoui, K.
-
Monaghan, S.
-
Hurley, P. K.
-
Gottlob, H. D. B ...
-
Lemme, Max C., 1 ...
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Nanoteknik
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Elektroteknik oc ...
- Artiklar i publikationen
-
Journal of Vacuu ...
- Av lärosätet
-
Kungliga Tekniska Högskolan
-
Chalmers tekniska högskola