onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-7951"
Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-7951" > Schottky-barrier he...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
- Zhang, ZhenKTH,Integrerade komponenter och kretsar (författare)
Schottky-barrier height tuning by means of ion implantation into preformed silicide films followed by drive-in anneal
- Artikel/kapitelEngelska2007
Förlag, utgivningsår, omfång ...
- 2007
- printrdacarrier
Nummerbeteckningar
- LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kth-7951
- https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-7951URI
- https://doi.org/10.1109/LED.2007.900295DOI
Kompletterande språkuppgifter
- Språk:engelska
- Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
- SwePubSwePub
Klassifikation
Anmärkningar
- QC 20100923
- An experimental study on Schottky-barrier height (SBH) tuning using ion implantation followed by drive-in anneal of As, B, In, and P in preformed NiSi and PtSi films is presented. Measured on B-implanted NiSi and PtSi Schottky diodes, the effective SBH on n-type Si is altered to similar to 1.0 eV. For As- and P-implanted diodes, the SBH on p-type Si can be tuned to around 0.9 eV The process window for the most pronounced SBH modification is dopant dependent.
Ämnesord och genrebeteckningar
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER Elektroteknik och elektronik Annan elektroteknik och elektronik hsv//swe
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering hsv//eng
- dopant segregation
- Schottky barrier (SB) lowering
- Schottky diode
- silicide
- Electronics
- Elektronik
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
- Qiu, ZhijunKTH,Integrerade komponenter och kretsar(Swepub:kth)u1wkv8xt (författare)
- Liu, RanState Key Laboratory of ASIC and System, School of Microelectronics, Fudan University (författare)
- Östling, MikaelKTH,Integrerade komponenter och kretsar(Swepub:kth)u1u0kle4 (författare)
- Zhang, Shi-LiKTH,Integrerade komponenter och kretsar(Swepub:kth)u1a28qyq (författare)
- KTHIntegrerade komponenter och kretsar (creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
- Ingår i:IEEE Electron Device Letters28:7, s. 565-5680741-31061558-0563
Internetlänk
Hitta via bibliotek
- IEEE Electron Device Letters (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Zhang, Zhen
- Qiu, Zhijun
- Liu, Ran
- Östling, Mikael
- Zhang, Shi-Li
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
- TEKNIK OCH TEKNO ...
- och Elektroteknik oc ...
- och Annan elektrotek ...
- Artiklar i publikationen
- IEEE Electron De ...
- Av lärosätet
- Kungliga Tekniska Högskolan
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
