Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-91425" > 3D Patterning of Si...
Fältnamn | Indikatorer | Metadata |
---|---|---|
000 | 01402naa a2200301 4500 | |
001 | oai:DiVA.org:kth-91425 | |
003 | SwePub | |
008 | 120314s2012 | |||||||||||000 ||eng| | |
024 | 7 | a https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-914252 URI |
040 | a (SwePub)kth | |
041 | a eng | |
042 | 9 SwePub | |
072 | 7 | a vet2 swepub-contenttype |
072 | 7 | a kon2 swepub-publicationtype |
100 | 1 | a Fischer, Andreas C.,d 1982-u KTH,Mikrosystemteknik4 aut0 (Swepub:kth)u1pfkzjx |
245 | 1 0 | a 3D Patterning of Si Micro and Nano Structures by Focused Ion Beam Implantation, Si Deposition and Selective Si Etching |
264 | 1 | c 2012 |
338 | a print2 rdacarrier | |
500 | a QC 20121210 | |
700 | 1 | a Gylfason, Kristinn B.u KTH,Mikrosystemteknik4 aut0 (Swepub:kth)u1v3y7u7 |
700 | 1 | a Belova, Liubov M.u KTH,Tillämpad materialfysik4 aut0 (Swepub:kth)u15bf6fe |
700 | 1 | a Malm, Gunnar B.u KTH,Integrerade komponenter och kretsar4 aut0 (Swepub:kth)u13lag9j |
700 | 1 | a Kolahdouz, Mohammadrezau KTH,Integrerade komponenter och kretsar4 aut0 (Swepub:kth)u1cet9aw |
700 | 1 | a Rikers, Yuri G.M.u FEI Electron Optics4 aut |
700 | 1 | a Stemme, Göranu KTH,Mikrosystemteknik4 aut0 (Swepub:kth)u1oyebfq |
700 | 1 | a Niklaus, Franku KTH,Mikrosystemteknik4 aut0 (Swepub:kth)u1bcu8r2 |
710 | 2 | a KTHb Mikrosystemteknik4 org |
856 | 4 8 | u https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-91425 |
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.