Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:liu-45721" >
In-situ stress mea...
-
Brunell, I.F.
(författare)
In-situ stress measurement during the deposition of CN x thin films by unbalanced magnetron sputtering; formation of high levels of stress with 28 eV ion irradiation
- Artikel/kapitelEngelska2004
Förlag, utgivningsår, omfång ...
-
Informa UK Limited,2004
-
printrdacarrier
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:liu-45721
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-45721URI
-
https://doi.org/10.1080/09500830410001716140DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:art swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
Stress development during growth of CN x films by unbalanced magnetron sputtering has been investigated with an in-situ laser deflection technique. The stress is initially tensile, then it becomes compressive, reaching a maximum of as much as 7 GPa. These are anomalously high stress levels compared with pure carbon, considering the low ion energies (28 eV) and ion-to-neutral arrival rate ratio (<1) employed. This phenomenon is explained by the formation of a fullerene-like microstructure and nitrogen substitution at the growth surface. An accompanying increased reactivity of carbon atoms promotes sp3 bonding or other cross-linking of curved basal planes with resulting film densification.
Ämnesord och genrebeteckningar
-
TECHNOLOGY
-
TEKNIKVETENSKAP
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Pichon, L.Lab. de Mëtallurgie Physique, UMR 6630-CNRS, Téléport 2, Boulevard Pierre et Marie Curie, Chasseneuil Cédex, France
(författare)
-
Hellgren, N.Materials Research Laboratory, University of Illinois, 104 S. Goodwin Ave., Urbana, IL 61801, United States
(författare)
-
Czigany, ZsoltLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan(Swepub:liu)zsocz82
(författare)
-
Neidhardt, JörgLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan(Swepub:liu)jorne78
(författare)
-
Hultman, LarsLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan(Swepub:liu)larhu75
(författare)
-
Lab. de Mëtallurgie Physique, UMR 6630-CNRS, Téléport 2, Boulevard Pierre et Marie Curie, Chasseneuil Cédex, FranceMaterials Research Laboratory, University of Illinois, 104 S. Goodwin Ave., Urbana, IL 61801, United States
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Philosophical Magazine Letters: Informa UK Limited84:6, s. 395-4030950-08391362-3036
Internetlänk
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas