onr:"swepub:oai:DiVA.org:miun-23476"
Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:miun-23476" > Oxygen content and ...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
- Possnert, GUppsala Universitet (författare)
Oxygen content and depth profiling in silicon surface technology studied by the 16O(α, α)16O resonance at 3.045 MeV
- Artikel/kapitelEngelska1978
Förlag, utgivningsår, omfång ...
- 1978
- electronicrdacarrier
Nummerbeteckningar
- LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:miun-23476
- https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:miun:diva-23476URI
Kompletterande språkuppgifter
- Språk:engelska
- Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
- SwePubSwePub
Klassifikation
Anmärkningar
- The use of the t6O(o,o)160 elastic scattering resonance reaction forthe study of low concentration of oxygen such as found in interfacesin silicon technology is described. We have investigated the depth resolution and the limit of the sensitivity that can be obtained with thismethod. The method has been applied to the study of AlrQ{r "sandwich" film structures and to Au and amorphous Ge contacts to silicon.
Ämnesord och genrebeteckningar
- NATURVETENSKAP Fysik hsv//swe
- NATURAL SCIENCES Physical Sciences hsv//eng
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
- Fahlander, CUppsala Universitet (författare)
- Orre, BUppsala Universitet (författare)
- Norde, HUppsala Universitet (författare)
- Petersson, StureUppsala Universitet(Swepub:miun)stupet (författare)
- Tove, P. A.Uppsala Universitet (författare)
- Uppsala Universitet (creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
- Ingår i:Physica Scripta18, s. 353-3560031-89491402-4896
Internetlänk
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Possnert, G
- Fahlander, C
- Orre, B
- Norde, H
- Petersson, Sture
- Tove, P. A.
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
- NATURVETENSKAP
- och Fysik
- Artiklar i publikationen
- Physica Scripta
- Av lärosätet
- Mittuniversitetet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
