Sökning: onr:"swepub:oai:lup.lub.lu.se:c90cc02f-0fc9-4dae-a3cb-0446baab4e70" >
Characterization an...
Characterization and optimization of the laser-produced plasma EUV source at 13.5 nm based on a double-stream Xe/He gas puff target
-
- Rakowski, Rafal (författare)
- Lund University,Lunds universitet,Atomfysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Atomic Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
-
Bartnik, A. (författare)
-
Fiedorowicz, H. (författare)
-
visa fler...
-
de Dortan, F. de Gaufridy (författare)
-
Jarocki, R. (författare)
-
Kostecki, J. (författare)
-
Mikolajczyk, J. (författare)
-
Ryc, L. (författare)
-
Szczurek, M. (författare)
-
Wachulak, P. (författare)
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2010-11-23
- 2010
- Engelska.
-
Ingår i: Applied Physics B. - : Springer Science and Business Media LLC. - 0946-2171 .- 1432-0649. ; 101:4, s. 773-789
- Relaterad länk:
-
http://dx.doi.org/10...
-
visa fler...
-
https://link.springe...
-
https://lup.lub.lu.s...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- The paper describes a debris-free, efficient laser-produced plasma source emitting EUV radiation. The source is based on a double-stream Xe/He gas-puff. Its properties and spectroscopic signatures are characterized and discussed. The spatio-spectral features of the EUV emission are investigated. We show a large body of results related to the intensity and brightness of the EUV emission, its spatial, temporal, and angular behavior and the effect of the repetition rate as well. A conversion efficiency of laser energy into EUV in-band energy at 13.5 nm of 0.42% has been gained. The electron temperature and electron density of the source were estimated by means of a novel method using the FLY code. The experimental data and the Hullac code calculations are compared and discussed. The source is well suited for EUV metrology purposes. The potential of the source for application in EUV lithography was earlier demonstrated in the optical characterization of Mo/Si multi-layer mirrors and photo-etching of polymers.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Fysik -- Atom- och molekylfysik och optik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences -- Atom and Molecular Physics and Optics (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- art (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Rakowski, Rafal
-
Bartnik, A.
-
Fiedorowicz, H.
-
de Dortan, F. de ...
-
Jarocki, R.
-
Kostecki, J.
-
visa fler...
-
Mikolajczyk, J.
-
Ryc, L.
-
Szczurek, M.
-
Wachulak, P.
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Fysik
-
och Atom och molekyl ...
- Artiklar i publikationen
-
Applied Physics ...
- Av lärosätet
-
Lunds universitet