Sökning: onr:"swepub:oai:lup.lub.lu.se:db9cd439-3512-44e4-bb1e-aef85306335b" >
Laser-produced plas...
Laser-produced plasma EUV source based on tin-rich, thin-layer targets
-
- Rakowski, Rafal (författare)
- Lund University,Lunds universitet,Atomfysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Atomic Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
-
Mikolajczyk, J. (författare)
-
Bartnik, A. (författare)
-
visa fler...
-
Fiedorowicz, H. (författare)
-
de Dortan, F. de Gaufridy (författare)
-
Jarocki, R. (författare)
-
Kostecki, J. (författare)
-
Szczurek, M. (författare)
-
Wachulak, P. (författare)
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2010-09-15
- 2011
- Engelska.
-
Ingår i: Applied Physics B. - : Springer Science and Business Media LLC. - 0946-2171 .- 1432-0649. ; 102:3, s. 559-567
- Relaterad länk:
-
http://dx.doi.org/10...
-
visa fler...
-
https://link.springe...
-
https://lup.lub.lu.s...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- In this paper a new approach to a laser-produced plasma EUV source based on a tin target is presented. A thin layer of pure tin and composite layers consisting of Sn with Si, SiO and LiF are investigated. The target composed of several thin layers produces less debris than the other targets and provides a conversion efficiency (CE) in the 13.5-nm +/- 1% band at least comparable to the CE for the pure tin slab target. The largest CE was observed for the target composed of a mixture of Sn and LiF, due to the fact that lithium, similarly to tin, is a strong emitter at 13.5 nm.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Fysik -- Atom- och molekylfysik och optik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences -- Atom and Molecular Physics and Optics (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- art (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas