Sökning: onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:324074ac-d7d0-4bce-ad1e-01e3472feec6" >
Evaluation of silic...
-
Soderbarg, Anders
(författare)
Evaluation of silicon device processes aimed for silicon-on-diamond material
- Artikel/kapitelEngelska1995
Förlag, utgivningsår, omfång ...
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:research.chalmers.se:324074ac-d7d0-4bce-ad1e-01e3472feec6
-
https://doi.org/10.1109/SOI.1995.526482DOI
-
https://research.chalmers.se/publication/17791URI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:kon swepub-publicationtype
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
Anmärkningar
-
Silicon-on-Diamond (SOD) is a candidate for the next generation of SOI materials, especially for applications requiring high heat spreading capability. Undoped diamond is a highly electrically insulating material at temperatures below 600 K. Resistivities above 1013 Ωcm (at 10 V) and breakdown fields above 107 V/cm have been reported. Diamond conducts heat about 10 times better than silicon and more than 1000 times better than silicon dioxide. In this paper, necessary process modifications for successful manufacturing of devices on SOD-materials are discussed and evaluated
Ämnesord och genrebeteckningar
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Edholm, Bengt
(författare)
-
Bengtsson, Stefan,1961Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology(Swepub:cth)stefanb
(författare)
-
Chalmers tekniska högskola
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:1995 IEEE International SOI Conference Proceedings, s. 104-
Internetlänk