Sökning: onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:50039d4f-54a1-4b19-9c20-53986ed47047" >
Vertically stacked ...
Vertically stacked carbon nanotube-based interconnects for through silicon via application
-
- Jiang, Di, 1983 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Mu, Wei, 1985 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Chen, Si, 1981 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
visa fler...
-
- Fu, Yifeng, 1984 (författare)
- SHT Smart High-Tech AB
-
- Jeppson, Kjell, 1947 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Liu, Johan, 1960 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2015
- 2015
- Engelska.
-
Ingår i: IEEE Electron Device Letters. - 0741-3106 .- 1558-0563. ; 36:5, s. 499-501
- Relaterad länk:
-
http://dx.doi.org/10...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
https://research.cha...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Stacking of silicon chips with carbon nanotube (CNT)-based through-silicon vias (TSVs) is experimentally demonstrated. Polymer filling is used to improve the transfer quality of CNTs into pre-etched silicon holes. Special hexagonal CNTs are designed to achieve high aspect ratio (10:1) CNT vias. TSVs filled with closely packed CNTs show a highly linear dc I - V response. The proposed process works at room temperature, which makes it compatible with existing device fabrication flow.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Nanoteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Nano-technology (hsv//eng)
Nyckelord
- transfer
- through-silicon via (TSV)
- densification
- Carbon nanotube (CNT)
- interconnect
- 3D stacking
Publikations- och innehållstyp
- art (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Jiang, Di, 1983
-
Mu, Wei, 1985
-
Chen, Si, 1981
-
Fu, Yifeng, 1984
-
Jeppson, Kjell, ...
-
Liu, Johan, 1960
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Elektroteknik oc ...
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Nanoteknik
- Artiklar i publikationen
-
IEEE Electron De ...
- Av lärosätet
-
Chalmers tekniska högskola