onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:5156233b-45ee-4ec0-a257-70fc8cc9214e"
Sökning: onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:5156233b-45ee-4ec0-a257-70fc8cc9214e" > Optimized cleaning ...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
- Ljungberg, Karin (författare)
Optimized cleaning processes for silicon wafer bonding
- Artikel/kapitelEngelska1996
Förlag, utgivningsår, omfång ...
- 1996
Nummerbeteckningar
- LIBRIS-ID:oai:research.chalmers.se:5156233b-45ee-4ec0-a257-70fc8cc9214e
- https://research.chalmers.se/publication/17787URI
Kompletterande språkuppgifter
- Språk:engelska
- Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
- SwePubSwePub
Klassifikation
Anmärkningar
- The use of SPFM (H2SO4-H2O2-HF) at low HF concentrations (10-1000 ppm) has been investigated as a pre-cleaning procedure for silicon direct bonding. This cleaning procedure can be tuned to simultaneously give hydrophilic surface properties, ensuring good bondability, and excellent electric properties, crucial for the application of direct bonding in device applications
Ämnesord och genrebeteckningar
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER Elektroteknik och elektronik Annan elektroteknik och elektronik hsv//swe
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering hsv//eng
- integrated circuit reliability
- integrated circuit measurement
- surface contamination
- integrated circuit testing
- optimisation
- silicon
- wafer bonding
- elemental semiconductors
- surface cleaning
- integrated circuit yield
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
- Bengtsson, Stefan,1961Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology(Swepub:cth)stefanb (författare)
- Chalmers tekniska högskola (creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
- Ingår i:Proceedings of the Third International Symposium on Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces. UCPSS '96, s. 123-
Internetlänk
Till lärosätets databas
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Ljungberg, Karin
- Bengtsson, Stefa ...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
- TEKNIK OCH TEKNO ...
- och Elektroteknik oc ...
- och Annan elektrotek ...
- Artiklar i publikationen
- Proceedings of t ...
- Av lärosätet
- Chalmers tekniska högskola
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
