Sökning: onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:923d095c-0c76-45dd-943b-08423891f590" >
Influence Of Prebon...
Influence Of Prebonding Cleaning On The Electrical-Properties Of The Buried Oxide Of Bond-And-Etchback Silicon-On-Insulator Materials
-
- Ericsson, Per, 1968 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Bengtsson, Stefan, 1961 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Södervall, Ulf, 1954 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
(creator_code:org_t)
- 1995
- 1995
- Engelska.
-
Ingår i: Journal Of Applied Physics. ; 78:5, s. 3472-3480
- Relaterad länk:
-
https://research.cha...
Ämnesord
Stäng
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- art (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas