SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

SAB:Uccd
 

Sökning: SAB:Uccd > Semiconductor measu...

Semiconductor measurement technology Interlaboratory study on linewidth measurments for antireflective chromium photomasks /John M. Jerke ..

  • BokEngelska1982

Förlag, utgivningsår, omfång ...

  • Washington,1982
  • 183 s.diagr., ill., tab.

Nummerbeteckningar

  • LIBRIS-ID:99795

Kompletterande språkuppgifter

  • Språk:engelska

Klassifikation

Ämnesord och genrebeteckningar

Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)

  • Jerke, John M. (medarbetare)
  • Interlaboratory study on linewidth measurments for antireflective chromium photomasks

Sammanhörande titlar

  • Del av/supplement till:Semiconductor measurement technologyWashington, 1974-National Bureau of Standards special publication ; 400:1-

Bibliotekens lokala klassifikation, anmärkningar och ämnesord

  • L621.315.592(021)
  • L53.08(021)
  • LHalvledare: elektroteknik
  • LMätteknik

Till lärosätets databas

Hitta mer i SwePub

Av författaren/redakt...
Jerke, John M.
Av lärosätet
Swepub_uni:_t

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy