SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

UDK:53.08(021)
 

Sökning: UDK:53.08(021) > Semiconductor measu...

Semiconductor measurement technology User's manual for the program MONSEL-1 : Monte Carlo simulation of SEM signals for linewidth metrology / Jeremiah R. Lowney and Egon Marx.

Lowney, Jeremiah R. (medarbetare)
Marx, Egon (medarbetare)
Washington, 1994
Engelska iv, 39 s.
Serie: NIST special publication, 99-0824194-X ; 400:95
  • swepub:Mat__t
Ämnesord
Stäng  

Ämnesord

Halvledare: elektroteknik 

Publikations- och innehållstyp

621.315.592(021) (UDK)
53.08(021) (UDK)
537.622 028 7 (DDC)
Uccd (kssb/8 (machine generated))

Till lärosätets databas

Hitta mer i SwePub

Av författaren/redakt...
Lowney, Jeremiah ...
Marx, Egon
Av lärosätet
Swepub_uni:_t

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy