SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

WFRF:(Rusu C)
 

Sökning: WFRF:(Rusu C) > Boron impurity at t...

Boron impurity at the Si/SiO_{2} interface in SOI wafers and consequences for piezoresistive MEMS devices

Svensson, Krister (författare)
Karlstads universitet,Avdelningen för fysik och elektroteknik,Materialvetenskap
Nafari, A (författare)
Karlen, D (författare)
visa fler...
Rusu, C (författare)
Eniksson, P (författare)
visa färre...
 (creator_code:org_t)
2009
2009
Engelska.
Ingår i: Journal of Micromechanics and Microengineering. - 0960-1317 .- 1361-6439. ; 19:1, s. 1-6
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Ämnesord
Stäng  

Ämnesord

NATURVETENSKAP  -- Fysik (hsv//swe)
NATURAL SCIENCES  -- Physical Sciences (hsv//eng)

Nyckelord

Physics
Fysik

Publikations- och innehållstyp

ref (ämneskategori)
art (ämneskategori)

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Hitta mer i SwePub

Av författaren/redakt...
Svensson, Kriste ...
Nafari, A
Karlen, D
Rusu, C
Eniksson, P
Om ämnet
NATURVETENSKAP
NATURVETENSKAP
och Fysik
Artiklar i publikationen
Journal of Micro ...
Av lärosätet
Karlstads universitet

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy