Layer-by-layer 3D printing of Si micro- and nanostructures by Si deposition, ion implantation and selective Si etching

QC 20130110
In this paper we report a method for layer-by-layer printing of three-dimensional (3D) silicon (Si) micro- and nanostructures. This fabrication method is based on a sequence of alternating steps of chemical vapor deposition of Si and local implantation of gallium (Ga+) ions by focused ion beam (FIB) writing. The defined 3D structures are formed in a final step by selectively wet etching the non-implanted Si in potassium hydroxide (KOH). We demonstrate the viability of the method by fabricating 2 and 3-layer 3D Si structures, including suspended beams and patterned lines with dimensions on the nm-scale.

Gylfason, Kristinn B.,1978-KTH,Mikrosystemteknik(Swepub:kth)u1v3y7u7 (författare)
Belova, Lyubov M. (författare)
Malm, Gunnar B.KTH,Integrerade komponenter och kretsar(Swepub:kth)u13lag9j (författare)
Radamson, Henry H.KTH,Integrerade komponenter och kretsar(Swepub:kth)u1g2cqgr (författare)
Kolahdouz, M.KTH,Integrerade komponenter och kretsar(Swepub:kth)u1cet9aw (författare)
Rikers, Y. G. M. (författare)
Stemme, GöranKTH,Mikrosystemteknik(Swepub:kth)u1oyebfq (författare)
Niklaus, FrankKTH,Mikrosystemteknik(Swepub:kth)u1bcu8r2 (författare)
KTHMikrosystemteknik (creator_code:org_t)

Ingår i:12th IEEE Conference on Nanotechnology (IEEE-NANO), 2012: IEEE conference proceedings, s. 1-49781467321983

Av författaren/redakt...: Fischer, Andreas ...; Gylfason, Kristi ...; Belova, Lyubov M ...; Malm, Gunnar B.; Radamson, Henry ...; Kolahdouz, M.; visa fler...; Rikers, Y. G. M.; Stemme, Göran; Niklaus, Frank; visa färre...

Om ämnet

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER: TEKNIK OCH TEKNO ...; och Elektroteknik oc ...; och Annan elektrotek ...

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.