Permeability Enhancement by Multilayer Ferromagnetic Composites for Magnetic-Core On-Chip Inductors

QC 20141114
This letter reports about unpatterned ferromagnetic NiFe/AlN multilayer composites used as advanced magnetic core materials for on-chip and interposer integrated inductances. The proposed composite structure reduces RF induced currents and thus pushes the permeability cutoff to beyond 3.7 GHz, which is by a factor of 7.1 higher than for homogeneous NiFe layers of same thickness. To the best knowledge of the authors, we achieve the highest effective relative permeability of 28 at 1 GHz, highest ferromagnetic resonance frequency and highest inductance enhancement factor above 1 GHz ever reported for devices based on on-chip unpatterned NiFe magnetic cores. A single loop inductor is also implemented as a technology demonstrator, achieving an inductance enhancement of 4.8 and a quality factor enhancement of 4.5 at 400 MHz.

Liljeholm, JessicaSilex Microsystems (författare)
Ebefors, ThorbjörnSilex Microsystems (författare)
Oberhammer, JoachimKTH,Mikro- och nanosystemteknik,RF MEMS(Swepub:kth)u12600dy (författare)
KTHMikro- och nanosystemteknik (creator_code:org_t)

Ingår i:IEEE Microwave and Wireless Components Letters: IEEE Press24:10, s. 677-6791531-13091558-1764

Av författaren/redakt...: Shah, Umer; Liljeholm, Jessi ...; Ebefors, Thorbjö ...; Oberhammer, Joac ...

Om ämnet

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER: TEKNIK OCH TEKNO ...; och Elektroteknik oc ...; och Annan elektrotek ...

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.