SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

WFRF:(Wijngaart Wouter van der)
 

Sökning: WFRF:(Wijngaart Wouter van der) > A High-Yield Proces...

A High-Yield Process for 3-D Large-Scale Integrated Microfluidic Networks in PDMS

Carlborg, Carl Fredrik (författare)
KTH,Mikrosystemteknik
Haraldsson, Tommy (författare)
KTH,Mikrosystemteknik
Cornaglia, Matteo (författare)
KTH,Mikrosystemteknik
visa fler...
Stemme, Göran (författare)
KTH,Mikrosystemteknik
van der Wijngaart, Wouter (författare)
KTH,Mikrosystemteknik
visa färre...
 (creator_code:org_t)
2010
2010
Engelska.
Ingår i: Journal of microelectromechanical systems. - 1057-7157 .- 1941-0158. ; 19:5, s. 1050-1057
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Abstract Ämnesord
Stäng  
  • This paper presents an uncomplicated high-yield fabrication process for creating large-scale integrated (LSI) 3-D microfluidic networks in poly(dimethylsiloxane) (PDMS). The key innovation lays in the robust definition of miniaturized out-of-plane fluidic interconnecting channels (=vias) between stacked layers of microfluidic channels in standard PDMS. Unblocked vias are essential for creating 3-D microfluidic networks. Previous methods either suffered from limited yield in achieving unblocked vias due to residual membranes obstructing the vias after polymerization, or required complicated and/or manual procedures to remove the blocking membranes. In contrast, our method prevents the formation of residual membranes by inhibiting the PDMS polymerization on top of the mold features that define the vias. In addition to providing unblocked vias, the inhibition process also leaves a partially cured, sticky flat-top surface that adheres well to other surfaces and that allows self-sealing stacking of several PDMS layers. We demonstrate the new method by manufacturing a densely perforated PDMS membrane and an LSI 3-D PDMS microfluidic channel network. We also characterize the inhibition mechanism and study the critical process parameters. We demonstrate that the method is suitable for structuring PDMS layers with a thickness down to 10 mu m.

Ämnesord

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER  -- Elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
ENGINEERING AND TECHNOLOGY  -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)

Nyckelord

Inhibition
lab-on-a-chip
microfluidics
poly(dimethylsiloxane) (PDMS)
3-D structures
Electrical engineering, electronics and photonics
Elektroteknik, elektronik och fotonik

Publikations- och innehållstyp

ref (ämneskategori)
art (ämneskategori)

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy