Sökning: L773:0042 207X OR L773:1879 2715 >
Structural damage i...
-
Azarov, A. Yu.
(författare)
Structural damage in ZnO bombarded by heavy ions
- Artikel/kapitelEngelska2010
Förlag, utgivningsår, omfång ...
-
Elsevier BV,2010
-
printrdacarrier
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kth-29899
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-29899URI
-
https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2009.10.041DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:art swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
QC 20110218 19th International Conference on the Interaction of Ions with Surfaces, Zvenigorod, RUSSIA, AUG 21-25, 2009
-
The effect of implantation parameters on damage build-up in ZnO bombarded with Bi and Er ions is studied by Rutherford backscattering/channelling spectrometry. The results show that the damage accumulation behaviour in ZnO is different dramatically from that in other semiconductors. In particular, a variation of implantation parameters, such as collision cascade density, sample temperature and ion flux, has only a minor influence on the damage accumulation in the crystal bulk for the case of such heavy ions. Moreover, an intermediate damage peak, between the surface and bulk defect peaks, is observed for all the irradiation conditions studied. The cascade density affects the behaviour of this intermediate peak with increasing ion dose.
Ämnesord och genrebeteckningar
-
Ion implantation
-
Defects
-
ZnO
-
TECHNOLOGY
-
TEKNIKVETENSKAP
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Titov, A. I.
(författare)
-
Karaseov, P. A.
(författare)
-
Kucheyev, S. O.
(författare)
-
Hallén, AndersKTH,Mikroelektronik och tillämpad fysik, MAP(Swepub:kth)u11ywmz1
(författare)
-
Kuznetsov, A. Yu.
(författare)
-
Svensson, B. G.
(författare)
-
Pathak, A. P.
(författare)
-
KTHMikroelektronik och tillämpad fysik, MAP
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Vacuum: Elsevier BV84:8, s. 1058-10610042-207X1879-2715
Internetlänk
Hitta via bibliotek
-
Vacuum
(Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas