On-chip spectroscopy of CO2 with MIR waveguides

• We review our recent work on spectroscopic sensing of carbon dioxide in the mid-infrarded region around 4.3 µm using suspended silicon waveguides. Our waveguides are built on standard silicon-on-insulator substrates and acheive high sensitivity to gas. 

Ämnesord

NATURVETENSKAP  -- Fysik -- Atom- och molekylfysik och optik (hsv//swe)

NATURAL SCIENCES  -- Physical Sciences -- Atom and Molecular Physics and Optics (hsv//eng)

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER  -- Elektroteknik och elektronik -- Telekommunikation (hsv//swe)

ENGINEERING AND TECHNOLOGY  -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Telecommunications (hsv//eng)

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER  -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)

ENGINEERING AND TECHNOLOGY  -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)

Nyckelord

Carbon dioxide

Waveguides

High sensitivity

On-chip spectroscopy

Silicon waveguide

Silicon-on-insulator substrates

Spectroscopic sensing

Silicon on insulator technology

Publikations- och innehållstyp

ref (ämneskategori)

kon (ämneskategori)