Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:kth-32472" >
Optimization of Pol...
-
Esteve, RomainKTH,Integrerade komponenter och kretsar
(författare)
Optimization of Poly-Silicon Process for 3C-SiC Based MOS Devices
- Artikel/kapitelEngelska2010
Förlag, utgivningsår, omfång ...
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kth-32472
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-32472URI
-
https://doi.org/10.1557/PROC-1246-B06-04DOI
Kompletterande språkuppgifter
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:kon swepub-publicationtype
Anmärkningar
Ämnesord och genrebeteckningar
-
TECHNOLOGY
-
TEKNIKVETENSKAP
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Schöner, A.
(författare)
-
Reshanov, S.A.
(författare)
-
Zetterling, Carl-MikaelKTH,Integrerade komponenter och kretsar(Swepub:kth)u15o61ns
(författare)
-
KTHIntegrerade komponenter och kretsar
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Material Research Society Symposium Proceedings, s. 115-
Internetlänk