SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

WFRF:(Petersson Christer)
 

Sökning: WFRF:(Petersson Christer) > Metallized and oxid...

  • Badel, XavierKTH,Mikroelektronik och informationsteknik, IMIT (författare)

Metallized and oxidized silicon macropore arrays filled with a scintillator for CCD-based X-ray imaging detectors

  • Artikel/kapitelEngelska2004

Förlag, utgivningsår, omfång ...

  • IEEE,2004
  • printrdacarrier

Nummerbeteckningar

  • LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kth-4959
  • https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-4959URI
  • https://doi.org/10.1109/TNS.2004.829579DOI
  • https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:miun:diva-2166URI
  • https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-47387URI

Kompletterande språkuppgifter

  • Språk:engelska
  • Sammanfattning på:engelska

Ingår i deldatabas

Klassifikation

  • Ämneskategori:ref swepub-contenttype
  • Ämneskategori:art swepub-publicationtype

Anmärkningar

  • QC 20100831. Konferens: Nuclear Science Symposium/Medical Imaging Conference/13th International Workshop on Room-Temperature Semiconductor X-and Gamma-Ray Dectectors/Symposium on Nuclear Power Systems, Portland, OR, OCT 19-25, 2003.
  • Nuclear Science Symposium/Medical Imaging Conference/13th International Workshop on Room-Temperature Semiconductor X-and Gamma-Ray Dectectors/Symposium on Nuclear Power Systems, oct 19-25, 2003, Portland, OR
  • QC 20111109
  • Silicon charge-coupled devices (CCDs) covered with a scintillating film are now available on the market for use in digital medical imaging. However, these devices could still be improved in terms of sensitivity and especially spatial resolution by coating the CCD with an array of scintillating waveguides. In this paper, such waveguides were fabricated by first etching pores in silicon, then performing metallization or oxidation of the pore walls and finally filling the pores with CsI(TI). The resulting structures were observed using scanning electron microscopy and tested under X-ray exposure. Theoretical efficiencies of macropore arrays filled with CsI(TI) were also calculated, indicating that the optimal pore depth for metallized macropore arrays is about 80 mum while it is around 350 mum for oxidized ones. This result, together with the roughness of the metal coating, explains why lower SNR values were measured with the metallized macropores. Indeed, the macropore arrays had depths in the range of 210-390 mum, which is favorable to oxidized structures.

Ämnesord och genrebeteckningar

Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)

  • Linnros, JanKTH,Mikroelektronik och informationsteknik, IMIT(Swepub:kth)u1t79mee (författare)
  • Kleimann, P.LENAC, Univ.́ Claude Bernard Lyon-I, Villeurbanne (författare)
  • Norlin, BörjeMittuniversitetet,Institutionen för informationsteknologi och medier (-2013)(Swepub:miun)bornor (författare)
  • Koskiahde, E.Metorex International Oy, Espoo (författare)
  • Valpas, K.Metorex International Oy, Espoo (författare)
  • Nenonen, S.Metorex International Oy, Espoo (författare)
  • Petersson, StureKTH,Mikroelektronik och informationsteknik, IMIT,Department of Microelectronics, Roy. Inst. of Technology of Sweden, Kista(Swepub:miun)stupet (författare)
  • Fröjdh, ChristerMittuniversitetet,Institutionen för informationsteknologi och medier (-2013)(Swepub:miun)chrfro (författare)
  • KTHMikroelektronik och informationsteknik, IMIT (creator_code:org_t)

Sammanhörande titlar

  • Ingår i:IEEE Transactions on Nuclear Science: IEEE51:3, s. 1001-1005, s. 1006-10100018-94991558-1578
  • Ingår i:2003 IEEE NUCLEAR SCIENCE SYMPOSIUM, CONFERENCE RECORD, VOLS 1-5: IEEE51:3, s. 1001-1005, s. 1006-1010

Internetlänk

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy