WFRF:(Gottlob H. D. B.)
Sökning: WFRF:(Gottlob H. D. B.) > Nanoscale TiN metal...
- 24 av 44
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
- Lemme, Max C.,1970-AMO GmbH, AMICA, Aachen, Germany (författare)
Nanoscale TiN metal gate technology for CMOS integration
- Artikel/kapitelEngelska2006
Förlag, utgivningsår, omfång ...
- Elsevier BV,2006
- printrdacarrier
Nummerbeteckningar
- LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kth-50524
- https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-50524URI
- https://doi.org/10.1016/j.mee.2006.01.161DOI
Kompletterande språkuppgifter
- Språk:engelska
- Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
- SwePubSwePub
Klassifikation
Anmärkningar
- QC 20120222
- A TiN metal gate technology including essential natiostructuring process steps is investigated. Complex interdependencies of material deposition, nanolithography, nanoscale etching and post fabrication annealing are taken into account. First, a reactive sputter process has been optimized for plasma damage and stoichiometry. Then, a two step etch process that yields both anisotropy and selectivity has been identified. Finally, MOS-capacitors with TiN/SiO2 gate stacks fabricated with this technology have been exposed to rapid thermal annealing steps. TiN/SiO2 interfaces are chemically stable up to 800 degrees C and yield excellent CV and IV characteristics.
Ämnesord och genrebeteckningar
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER Nanoteknik hsv//swe
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY Nano-technology hsv//eng
- nanoelectronics
- metal gate
- RIE etching
- nanostructuring
- TiN
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
- Efavi, J. K. (författare)
- Mollenhauer, T. (författare)
- Schmidt, M. (författare)
- Gottlob, H. D. B. (författare)
- Wahlbrink, T. (författare)
- Kurz, H. (författare)
- AMO GmbH, AMICA, Aachen, Germany (creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
- Ingår i:Microelectronic Engineering: Elsevier BV83:4-9, s. 1551-15540167-93171873-5568
Internetlänk
Hitta via bibliotek
- Microelectronic Engineering (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- 24 av 44
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Lemme, Max C., 1 ...
- Efavi, J. K.
- Mollenhauer, T.
- Schmidt, M.
- Gottlob, H. D. B ...
- Wahlbrink, T.
- visa fler...
- Kurz, H.
- visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
- TEKNIK OCH TEKNO ...
- och Nanoteknik
- Artiklar i publikationen
- Microelectronic ...
- Av lärosätet
- Kungliga Tekniska Högskolan
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
