WFRF:(Mollenhauer T)
Sökning: WFRF:(Mollenhauer T) > (2005-2009) > Nanowire fin field ...
- 10 av 18
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
- Fuchs, A. (författare)
Nanowire fin field effect transistors via UV-based nanoimprint lithography
- Artikel/kapitelEngelska2006
Förlag, utgivningsår, omfång ...
- American Vacuum Society,2006
- printrdacarrier
Nummerbeteckningar
- LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kth-50532
- https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-50532URI
- https://doi.org/10.1116/1.2395956DOI
Kompletterande språkuppgifter
- Språk:engelska
- Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
- SwePubSwePub
Klassifikation
Anmärkningar
- QC 20120222
- A triple step alignment process for UV nanoimprint lithography (UV-NIL) for the fabrication of nanoscale fin field effect transistors (FinFETs) is presented. An alignment accuracy is demonstrated between two functional layers of less than 20 nm (3 sigma). The electrical characterization of the FinFETs fabricated by a full NIL process demonstrates the potential of UV-NIL for future nanoelectronic devices.
Ämnesord och genrebeteckningar
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER Nanoteknik hsv//swe
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY Nano-technology hsv//eng
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
- Bender, M. (författare)
- Plachetka, U. (författare)
- Kock, L. (författare)
- Wahlbrink, T. (författare)
- Gottlob, H. D. B. (författare)
- Efavi, J. K. (författare)
- Moeller, M. (författare)
- Schmidt, M. (författare)
- Mollenhauer, T. (författare)
- Moormann, C. (författare)
- Lemme, Max C.,1970-AMO GmbH, AMICA, Aachen, Germany(Swepub:kth)u1m2eozy (författare)
- Kurz, H. (författare)
- AMO GmbH, AMICA, Aachen, Germany (creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
- Ingår i:Journal of Vacuum Science & Technology B: American Vacuum Society24:6, s. 2964-29671071-10231520-8567
Internetlänk
Hitta via bibliotek
- Journal of Vacuum Science & Technology B (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- 10 av 18
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Fuchs, A.
- Bender, M.
- Plachetka, U.
- Kock, L.
- Wahlbrink, T.
- Gottlob, H. D. B ...
- visa fler...
- Efavi, J. K.
- Moeller, M.
- Schmidt, M.
- Mollenhauer, T.
- Moormann, C.
- Lemme, Max C., 1 ...
- Kurz, H.
- visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
- TEKNIK OCH TEKNO ...
- och Nanoteknik
- Artiklar i publikationen
- Journal of Vacuu ...
- Av lärosätet
- Kungliga Tekniska Högskolan
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
