Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-50539" >
Introduction of cry...
-
Gottlob, H D B
(författare)
Introduction of crystalline high-k gate dielectrics in a CMOS process
- Artikel/kapitelEngelska2005
Förlag, utgivningsår, omfång ...
-
Elsevier BV,2005
-
printrdacarrier
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kth-50539
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-50539URI
-
https://doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2005.04.032DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:art swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
QC 20120229
-
In this work we report on methods to introduce crystalline rare-earth (RE) oxides with high (k > 3.9) dielectric constants (high-k) in a CMOS process flow. Key process steps compatible with crystalline praseodymium oxide (Pr2O3) high-k gate dielectric have been developed and evaluated in metal-oxide-semiconductor (MOS) structures and n-MOS transistors fabricated in an adapted conventional bulk process. From capacitance-voltage measurements a dielectric constant of k = 36 has been calculated. Furthermore an alternative process sequence suitable for the introduction of high-k material into silicon on insulator (SOI) MOS-field-effect-transistors (MOSFET) is presented. The feasibility of this process is shown by realization of n- and p-MOSFETs with standard SiO2 gate dielectric as demonstrator. SiO2 gate dielectric can be replaced by crystalline RE-oxides in the next batch fabrication.
Ämnesord och genrebeteckningar
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Lemme, Max C.,1970-AMO GmbH, AMICA, Aachen, Germany(Swepub:kth)u1m2eozy
(författare)
-
Mollenhauer, T
(författare)
-
Wahlbrink, T
(författare)
-
Efavi, J K
(författare)
-
Kurz, H
(författare)
-
Stefanov, Y
(författare)
-
Haberle, K
(författare)
-
Komaragiri, R
(författare)
-
Ruland, T
(författare)
-
Zaunert, F
(författare)
-
Schwalke, U
(författare)
-
AMO GmbH, AMICA, Aachen, Germany
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Journal of Non-Crystalline Solids: Elsevier BV351:21-23, s. 1885-18890022-30931873-4812
Internetlänk
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Gottlob, H D B
-
Lemme, Max C., 1 ...
-
Mollenhauer, T
-
Wahlbrink, T
-
Efavi, J K
-
Kurz, H
-
visa fler...
-
Stefanov, Y
-
Haberle, K
-
Komaragiri, R
-
Ruland, T
-
Zaunert, F
-
Schwalke, U
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Nanoteknik
- Artiklar i publikationen
-
Journal of Non-C ...
- Av lärosätet
-
Kungliga Tekniska Högskolan