id:"swepub:oai:DiVA.org:kth-50540"
Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:kth-50540" > Supercritical dryin...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
- Wahlbrink, T. (författare)
Supercritical drying process for high aspect-ratio HSQ nano-structures
- Artikel/kapitelEngelska2006
Förlag, utgivningsår, omfång ...
- Elsevier BV,2006
- printrdacarrier
Nummerbeteckningar
- LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kth-50540
- https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-50540URI
- https://doi.org/10.1016/j.mee.2006.01.026DOI
Kompletterande språkuppgifter
- Språk:engelska
- Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
- SwePubSwePub
Klassifikation
Anmärkningar
- QC 20120301
- Supercritical resist drying allows the fabrication of high aspect-ratio (AR) resist patterns. The potential of this drying technique to increase the maximum achievable AR and the resolution of the overall lithographic process is analyzed for hydrogen silsesquioxane (HSQ). The maximum achievable AR is doubled compared to conventional nitrogen blow drying. Furthermore, the resolution is improved significantly.
Ämnesord och genrebeteckningar
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER Nanoteknik hsv//swe
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY Nano-technology hsv//eng
- supercritical resist drying
- HSQ
- high-resolution electron beam lithography
- aspect ratio
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
- Kupper, D. (författare)
- Georgiev, Y. M. (författare)
- Bolten, J. (författare)
- Moller, M. (författare)
- Lemme, Max C.,1970-AMO GmbH, AMICA, Aachen, Germany(Swepub:kth)u1m2eozy (författare)
- Kurz, H. (författare)
- AMO GmbH, AMICA, Aachen, Germany (creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
- Ingår i:Microelectronic Engineering: Elsevier BV83:4-9, s. 1124-11270167-93171873-5568
Internetlänk
Hitta via bibliotek
- Microelectronic Engineering (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Wahlbrink, T.
- Kupper, D.
- Georgiev, Y. M.
- Bolten, J.
- Moller, M.
- Lemme, Max C., 1 ...
- visa fler...
- Kurz, H.
- visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
- TEKNIK OCH TEKNO ...
- och Nanoteknik
- Artiklar i publikationen
- Microelectronic ...
- Av lärosätet
- Kungliga Tekniska Högskolan
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
