Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:kth-50563" >
High-k-oxide/silico...
-
Raeissi, Bahman,1979Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
(författare)
High-k-oxide/silicon interfaces characterized by capacitance frequency spectroscopy
- Artikel/kapitelEngelska2007
Förlag, utgivningsår, omfång ...
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kth-50563
-
ISBN:9781424411238
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-50563URI
-
https://doi.org/10.1109/ESSDERC.2007.4430933DOI
-
https://research.chalmers.se/publication/67383URI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:kon swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
QC 20120221
-
Electron capture into insulator/silicon interface states is investigated for high-k dielectrics of Gd(2)O(3) prepared by MBE and ALD, and for HfO(2) prepared by reactive sputtering, by measuring the frequency dependence of MOS capacitance. The capture cross sections are found to be thermally activated and to increase steeply with the energy depth of the interface electron states. The methodology adopted is considered useful for increasing the understanding of high-k-oxide/silicon interfaces.
Ämnesord och genrebeteckningar
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Piscator, Johan,1977Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology(Swepub:cth)e8johanp
(författare)
-
Engström, Olof,1943Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology(Swepub:cth)oleng
(författare)
-
Hall, S.University of Liverpool
(författare)
-
Buiu, O.University of Liverpool
(författare)
-
Lemme, Max C.,1970-AMO GmbH, AMICA, Aachen, Germany(Swepub:kth)u1m2eozy
(författare)
-
Gottlob, H. D. B.
(författare)
-
Hurley, P. K.Tyndall National Institute at National University of Ireland, Cork
(författare)
-
Cherkaoui, K.Tyndall National Institute at National University of Ireland, Cork
(författare)
-
Osten, H. J.University of Hanover, Germany
(författare)
-
Chalmers tekniska högskolaUniversity of Liverpool
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:ESSDERC 2007, s. 283-2869781424411238
Internetlänk
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Raeissi, Bahman, ...
-
Piscator, Johan, ...
-
Engström, Olof, ...
-
Hall, S.
-
Buiu, O.
-
Lemme, Max C., 1 ...
-
visa fler...
-
Gottlob, H. D. B ...
-
Hurley, P. K.
-
Cherkaoui, K.
-
Osten, H. J.
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Nanoteknik
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Annan teknik
- Artiklar i publikationen
-
ESSDERC 2007
- Av lärosätet
-
Kungliga Tekniska Högskolan
-
Chalmers tekniska högskola