Sökning: L773:0022 3727 OR L773:1361 6463
> (2005-2009) >
Ion-acoustic solita...
Ion-acoustic solitary waves in a high power pulsed magnetron sputtering discharge
-
- Gylfason, Kristinn B., 1978- (författare)
- Science Institute, University of Iceland, Reykjavik, Iceland
-
- Alami, Jones (författare)
- Linköpings universitet,Plasma och ytbeläggningsfysik,Tekniska högskolan
-
- Helmersson, Ulf (författare)
- Linköpings universitet,Plasma och ytbeläggningsfysik,Tekniska högskolan
-
visa fler...
-
- Gudmundsson, J. T. (författare)
- Science Institute, University of Iceland, Reykjavik, Iceland
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2005-09-02
- 2005
- Engelska.
-
Ingår i: Journal of Physics D. - : Institute of Physics Publishing (IOPP). - 0022-3727 .- 1361-6463. ; 38:18, s. 3417-3421
- Relaterad länk:
-
http://dx.doi.org/10...
-
visa fler...
-
https://kth.diva-por... (primary) (Raw object)
-
http://urn.kb.se/res...
-
https://urn.kb.se/re...
-
https://doi.org/10.1...
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- We report on the creation and propagation of ion-acoustic solitary waves in a high power pulsed magnetron sputtering discharge. A dense localized plasma is created by applying high energy pulses (4-12 J) of length; approximate to 70 mu s, at a repetition frequency of 50 pulses per second, to a planar magnetron sputtering source. The temporal behaviour of the electron density, measured by a Langmuir probe, shows solitary waves travelling away from the magnetron target. The velocity of the waves depends on the gas pressure but is roughly independent of the pulse energy.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- PLASMA PARAMETERS; SOLITONS; IONIZATION; EXCITATION; DEPOSITION; FILMS
- TECHNOLOGY
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas