WFRF:(Rehbein M)
Sökning: WFRF:(Rehbein M) > (2004) > Nano-fabrication of...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
- Holmberg, AndersKTH,Fysik (författare)
Nano-fabrication of condenser and micro zone plates for compact X-ray microscopy
- Artikel/kapitelEngelska2004
Förlag, utgivningsår, omfång ...
- 2004
- printrdacarrier
Nummerbeteckningar
- LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kth-5982
- https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-5982URI
- https://doi.org/10.1016/j.mee.2004.03.006DOI
Kompletterande språkuppgifter
- Språk:engelska
- Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
- SwePubSwePub
Klassifikation
Anmärkningar
- QC 20100616, QC 20111017. 29th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE 2003), Cambridge, ENGLAND, SEP 22-25, 2003
- We demonstrate nano-fabrication of high-aspect ratio and high-spatial frequency diffractive X-ray optics with high uniformity for use in a laser-plasma-based compact water-window X-ray microscope. The structures are fabricated on 50 nm thin Si3N4-membranes using a three-layer resist scheme and 30 keV e-beam lithography in combination with reactive ion etching and nickel electroplating. The process is developed on solely commercially available resists and instruments. As examples, we demonstrate fabrication of micro-zone plates with outermost linewidths of 30 nm and an uniform zone height of 160 nm, and a 4.5 mm diameter condenser zone plate with 50-60 nm lines, fabricated by using stitched fields.
Ämnesord och genrebeteckningar
- NATURVETENSKAP Fysik hsv//swe
- NATURAL SCIENCES Physical Sciences hsv//eng
- Physics
- Fysik
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
- Rehbein, StefanKTH,Fysik(Swepub:kth)u1lmm9pi (författare)
- Hertz, Hans M.KTH,Fysik(Swepub:kth)u10uiefj (författare)
- KTHFysik (creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
- Ingår i:Microelectronic Engineering73/74, s. 639-6430167-93171873-5568
Internetlänk
Hitta via bibliotek
- Microelectronic Engineering (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Holmberg, Anders
- Rehbein, Stefan
- Hertz, Hans M.
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
- NATURVETENSKAP
- och Fysik
- Artiklar i publikationen
- Microelectronic ...
- Av lärosätet
- Kungliga Tekniska Högskolan
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
