Sökning: WFRF:(Sabino S) >
How reliable are su...
How reliable are surface roughness measurements of micro-features? : Experiences of a Round Robin test within nine 4M laboratories
-
- Mattsson, Lars, 1950- (författare)
- KTH,Mätteknik och optik
-
- Bolt, Pieter (författare)
- TNO Science and Industry, 5600 HE Eindhoven, The Netherlands
-
- Azcarate, Sabino (författare)
- Tekniker Technological Center, 20600 Eibar, Spain
-
visa fler...
-
- Brousseau, Emmanuel (författare)
- Manufacturing Engineering Centre, Cardiff University, Cardiff CF24 3AA, UK
-
- Fillon, Bertrand (författare)
- French Atomic Energy Commission, (CEA), Laboratory of Innovation for New Energy Technologies and Nanomaterials (LITEN), 38054 Grenoble, France
-
- Fowler, C. (författare)
- Science and Technology Facilities Council, Rutherford Appleton Laboratory (RAL), Technology – Central Microstructure Facility, Harewell Science and lnnovation Campus, Didcot, Oxfordshire, OX11 OQX, UK
-
- Gelink, E. (författare)
- TNO Science and Industry, 5600 HE Eindhoven, The Netherlands
-
- Griffiths, C. (författare)
- Manufacturing Engineering Centre, Cardiff University, Cardiff CF24 3AA, UK
-
- Kahn Malek, Chantal (författare)
- FEMTO-ST Institute, CNRS UMR 6174, LPMO Department, 25044 Besancon Cedex, France
-
- Marson, S. (författare)
- School of Applied Sciences, Cranfield University, Cranfield, Beds, MK43 OAL, UK
-
- Retolaza, Aritz (författare)
- Tekniker Technological Center, 20600 Eibar, Spain
-
- Schneider, A. (författare)
- Science and Technology Facilities Council, Rutherford Appleton Laboratory (RAL), Technology – Central Microstructure Facility, Harewell Science and lnnovation Campus, Didcot, Oxfordshire, OX11 OQX, UK
-
- Schoth, Andreas (författare)
- IMTEK, University of Freiburg, Georges-Koehler-Allee 103, EG-79110, Freiburg, Germany
-
- Témun, Attila (författare)
- KTH,Mätteknik och optik
-
- Tiquet, P. (författare)
- French Atomic Energy Commission, (CEA), Laboratory of Innovation for New Energy Technologies and Nanomaterials (LITEN), 38054 Grenoble, France
-
- Tosello, Guido (författare)
- Department of Mechanical Engineering, Technical University of Denmark, Denmark
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- Dunbeath : Whittles Publishing, 2008
- 2008
- Engelska.
-
Ingår i: 4M 2008. - Dunbeath : Whittles Publishing. - 9781904445760 ; , s. 139-142
- Relaterad länk:
-
http://www.4m-net.or...
-
visa fler...
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Surface roughness of tiny micro machined features is not easy to verify. The statistical variation of the surface itself can be the limiting factor that hampers tolerance verification. In this paper we have studied this effect and we also test the performance of 10 different surface profilers over a very well specified surface area. For this area 6 profilers yielded the same result within a standard deviation window of ±6%. For other areas, on top of narrow bars and in narrow and deep channels, a much larger spread in the Round Robin results were found.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Nanoteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Nano-technology (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Maskinteknik -- Produktionsteknik, arbetsvetenskap och ergonomi (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Mechanical Engineering -- Production Engineering, Human Work Science and Ergonomics (hsv//eng)
Nyckelord
- Surface roughness
- Micro metrology
- Round robin
- Surface profile
- Ra
- Pa
- SRA - Production
- SRA - Produktion
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
-
4M 2008
(Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Mattsson, Lars, ...
-
Bolt, Pieter
-
Azcarate, Sabino
-
Brousseau, Emman ...
-
Fillon, Bertrand
-
Fowler, C.
-
visa fler...
-
Gelink, E.
-
Griffiths, C.
-
Kahn Malek, Chan ...
-
Marson, S.
-
Retolaza, Aritz
-
Schneider, A.
-
Schoth, Andreas
-
Témun, Attila
-
Tiquet, P.
-
Tosello, Guido
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Nanoteknik
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Maskinteknik
-
och Produktionstekni ...
- Artiklar i publikationen
-
4M 2008
- Av lärosätet
-
Kungliga Tekniska Högskolan