3D Patterning of Si Micro and Nano Structures by Focused Ion Beam Implantation, Si Deposition and Selective Si Etching

Fischer, Andreas C., 1982- (författare)

KTH,Mikrosystemteknik

Gylfason, Kristinn B. (författare)

KTH,Mikrosystemteknik

Belova, Liubov M. (författare)

KTH,Tillämpad materialfysik

visa fler...

Malm, Gunnar B. (författare)

KTH,Integrerade komponenter och kretsar

Kolahdouz, Mohammadreza (författare)

KTH,Integrerade komponenter och kretsar

Rikers, Yuri G.M. (författare)

FEI Electron Optics

Stemme, Göran (författare)

KTH,Mikrosystemteknik

Niklaus, Frank (författare)

KTH,Mikrosystemteknik

visa färre...

 (creator_code:org_t)

2012

2012

Engelska.

Relaterad länk:

https://urn.kb.se/re...

• Konferensbidrag (övrigt vetenskapligt/konstnärligt)