SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Extended search

WFRF:(Frank Göran)
 

Search: WFRF:(Frank Göran) > (2010-2014) > 3D Patterning of Si...

  • Fischer, Andreas C.,1982-KTH,Mikrosystemteknik (author)

3D Patterning of Si Micro and Nano Structures by Focused Ion Beam Implantation, Si Deposition and Selective Si Etching

  • Article/chapterEnglish2012

Publisher, publication year, extent ...

  • 2012
  • printrdacarrier

Numbers

  • LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kth-91425
  • https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-91425URI

Supplementary language notes

  • Language:English

Part of subdatabase

Classification

  • Subject category:vet swepub-contenttype
  • Subject category:kon swepub-publicationtype

Notes

  • QC 20121210

Added entries (persons, corporate bodies, meetings, titles ...)

  • Gylfason, Kristinn B.KTH,Mikrosystemteknik(Swepub:kth)u1v3y7u7 (author)
  • Belova, Liubov M.KTH,Tillämpad materialfysik(Swepub:kth)u15bf6fe (author)
  • Malm, Gunnar B.KTH,Integrerade komponenter och kretsar(Swepub:kth)u13lag9j (author)
  • Kolahdouz, MohammadrezaKTH,Integrerade komponenter och kretsar(Swepub:kth)u1cet9aw (author)
  • Rikers, Yuri G.M.FEI Electron Optics (author)
  • Stemme, GöranKTH,Mikrosystemteknik(Swepub:kth)u1oyebfq (author)
  • Niklaus, FrankKTH,Mikrosystemteknik(Swepub:kth)u1bcu8r2 (author)
  • KTHMikrosystemteknik (creator_code:org_t)

Internet link

To the university's database

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Close

Copy and save the link in order to return to this view