SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

id:"swepub:oai:DiVA.org:liu-105975"
 

Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:liu-105975" > Composition, struct...

  • Wang, XinLinköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi,Tekniska högskolan (författare)

Composition, structure, and dielectric tunability of epitaxial SrTiO3 thin films grown by radio frequency magnetron sputtering

  • Artikel/kapitelEngelska1999

Förlag, utgivningsår, omfång ...

  • American Institute of Physics (AIP),1999
  • printrdacarrier

Nummerbeteckningar

  • LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:liu-105975
  • https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-105975URI
  • https://doi.org/10.1116/1.581619DOI

Kompletterande språkuppgifter

  • Språk:engelska
  • Sammanfattning på:engelska

Ingår i deldatabas

Klassifikation

  • Ämneskategori:ref swepub-contenttype
  • Ämneskategori:art swepub-publicationtype

Anmärkningar

  • Epitaxial (001) oriented SrTiO3 films have been deposited on LaAlO3(001) substrates by off-axis radio frequency magnetron sputtering in Ar:O-2 gas mixtures at substrate temperatures ranging from 650 to 850 degrees C. For the deposition conditions used, stoichiometric targets yielded 20% Sr-deficient films, whereas Sr-enriched targets (Sr1.1TiO0.9O3.0) resulted in stoichiometric films. The Sr-deficient films had a mosaic structure and a larger lattice parameter in comparison to bulk SrTiO3. The stoichiometric films on the other hand had a much higher crystalline quality in the as-deposited condition. The mosaicity of the latter films was primarily limited by the crystalline quality of the LaAlO3 substrates. The lattice parameters of the stoichiometric films were also smaller than the Sr-deficient ones and closer to the bulk value. The dielectric properties of the stoichiometric films were superior to the Sr-deficient films. For films with a thickness of similar to 300 nm, the typical dielectric constants as measured at similar to 77 K and I MHz were determined to be 820 and 500, for the stoichiometric and Sr-deficient films, respectively. Also the capacitance change, as a direct current bias voltage was applied to an interdigital capacitor, was higher for the stoichiometric film, 27.3% as compared to 8.6% when applying a bias of 300 V at 77 K. We also demonstrate the effectiveness of thermal annealing in improving both crystalline quality and dielectric properties, especially for the Sr-deficient films. (C) 1999 American Vacuum Society. [S0734-2101(99)010002-7].

Ämnesord och genrebeteckningar

  • NATURAL SCIENCES
  • NATURVETENSKAP

Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)

  • Helmersson, UlfLinköpings universitet,Plasma och ytbeläggningsfysik,Tekniska högskolan(Swepub:liu)ulfhe30 (författare)
  • Madsen, Lynnette DLinköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi,Tekniska högskolan (författare)
  • Ivanov, IvanLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan(Swepub:liu)ivaiv28 (författare)
  • Münger, PeterLinköpings universitet,Teoretisk Fysik,Tekniska högskolan(Swepub:liu)petmu26 (författare)
  • Rudner, StaffanLinköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi,Tekniska högskolan(Swepub:liu)staru87 (författare)
  • Hjörvarsson, BDepartment of Physics, Uppsala University, Sweden (författare)
  • Sundgren, Jan-ErikLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan (författare)
  • Linköpings universitetInstitutionen för fysik, kemi och biologi (creator_code:org_t)

Sammanhörande titlar

  • Ingår i:Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films: American Institute of Physics (AIP)17:2, s. 564-5700734-21011520-8559

Internetlänk

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy