Spatial electron density distribution in a high-power pulsed magnetron discharge

Böhlmark, JohanLinköpings universitet,Plasma och ytbeläggningsfysik,Tekniska högskolan (författare)

The spatial electron density distribution was measured as function of time in a high-power pulsed magnetron discharge. A Langmuir probe was positioned in various positions below the target and the electron density was mapped out. We recorded peak electron densities exceeding 1019 m-3 in a close vicinity of the target. The dynamics of the discharge showed a dense plasma expanding from the "race-track" axially into the vacuum chamber. We also record electrons trapped in a magnetic bottle where the magnetron magnetic field is zero, formed due to the unbalanced magnetron.

Gudmundsson, J. T. (författare)
Alami, JonesLinköpings universitet,Plasma och ytbeläggningsfysik,Tekniska högskolan(Swepub:liu)jonal90 (författare)
Lattemann, MartinaLinköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi,Tekniska högskolan(Swepub:liu)marla08 (författare)
Helmersson, UlfLinköpings universitet,Plasma och ytbeläggningsfysik,Tekniska högskolan(Swepub:liu)ulfhe30 (författare)
Linköpings universitetPlasma och ytbeläggningsfysik (creator_code:org_t)

Av författaren/redakt...: Böhlmark, Johan; Gudmundsson, J. ...; Alami, Jones; Lattemann, Marti ...; Helmersson, Ulf

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.