L773:1520 8559 OR L773:0734 2101
Sökning: L773:1520 8559 OR L773:0734 2101 > (2010-2024) > Controlling the bor...
- 100 av 142
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Controlling the boron-to-titanium ratio in magnetron-sputter-deposited TiBx thin films
-
- Petrov, Ivan (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten,University of Illinois, IL 61801 USA
-
- Hall, Allen (författare)
- University of Illinois, IL 61801 USA; University of Illinois, IL 61801 USA
-
- Mei, Antonio B. (författare)
- University of Illinois, IL 61801 USA
- visa fler...
- visa färre...
- (creator_code:org_t)
- A V S AMER INST PHYSICS, 2017
- 2017
- Engelska.
- Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films. - : A V S AMER INST PHYSICS. - 0734-2101 .- 1520-8559. ; 35:5
- Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Magnetron sputter-deposited TiBx films grown from TiB2 targets are typically highly overstoichiometric with x ranging from 3.5 to 2.4 due to differences in Ti and B preferential ejection angles and gasphase scattering during transport between the target and the substrate. The authors show that the use of highly magnetically unbalanced magnetron sputtering leads to selective ionization of sputter-ejected Ti atoms which are steered via an external magnetic field to the film, thus establishing control of the B/Ti ratio with the ability to obtain stoichiometric TiB2 films over a wide range in Ar sputtering pressures. (C) 2017 American Vacuum Society.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Fysik -- Den kondenserade materiens fysik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences -- Condensed Matter Physics (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
- Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- 100 av 142
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Petrov, Ivan
- Hall, Allen
- Mei, Antonio B.
- Nedfors, Nils
- Zhirkov, Igor
- Rosén, Johanna
- visa fler...
- Reed, Amber
- Howe, Brandon
- Greczynski, Grze ...
- Birch, Jens
- Hultman, Lars
- Greene, Joseph E
- visa färre...
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
- NATURVETENSKAP
- och Fysik
- och Den kondenserade ...
- Artiklar i publikationen
- Journal of Vacuu ...
- Av lärosätet
- Linköpings universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
