L773:1520 8559 OR L773:0734 2101
Sökning: L773:1520 8559 OR L773:0734 2101 > Structural and mech...
- 45 av 243
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Structural and mechanical properties of diamond-like carbon films deposited by direct current magnetron sputtering
-
- Broitman, E. (författare)
- Department of Applied Science, College of William and Mary, Williamsburg, VA 23187-8795, United States
-
- Hellgren, N. (författare)
- Frederick Seitz Materials Res. Lab., University of Illinois, Urbana, IL 61801, United States
- Czigany, Zs. (författare)
- visa fler...
- visa färre...
- Department of Applied Science, College of William and Mary, Williamsburg, VA 23187-8795, United States Frederick Seitz Materials Res Lab., University of Illinois, Urbana, IL 61801, United States (creator_code:org_t)
- American Vacuum Society, 2003
- 2003
- Engelska.
- Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films. - : American Vacuum Society. - 0734-2101 .- 1520-8559. ; 21:4, s. 851-859
- Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Abstract
Ämnesord
Stäng
- A systematic study of physical properties of sputter-deposited DLC films was performed as a function of flux ratio and ion energy. The energy and flux ions and neutral atoms impinging on the surface of the growing films were deduced from Langmuir probe measurements and theoretical calculations. The bombardment of growing films by the energetic particles led to changes in microstructure and mechanical properties. Results suggest that the presence of defective graphite formed by subplanted C and Ar atoms is the dominant influence on the mechanical properties of the DLC films.
Nyckelord
- TECHNOLOGY
- TEKNIKVETENSKAP
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
- Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- 45 av 243
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Broitman, E.
- Hellgren, N.
- Czigany, Zs.
- Twesten, R.D.
- Luning, J.
- Petrov, I.
- visa fler...
- Hultman, Lars
- Holloway, B.C.
- visa färre...
- Artiklar i publikationen
- Journal of Vacuu ...
- Av lärosätet
- Linköpings universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
