Sökning: WFRF:(Yazdi Gholamreza 1966 ) >
Fast epitaxy by PVT...
-
Syväjärvi, MikaelLinköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan
(författare)
Fast epitaxy by PVT of SiC in hydrogen atmosphere
- Artikel/kapitelEngelska2005
Förlag, utgivningsår, omfång ...
-
Elsevier BV,2005
-
printrdacarrier
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:liu-14802
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-14802URI
-
https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2004.11.129DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:art swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
Epitaxial growth in hydrogen atmosphere has been studied in relation to sublimation epitaxial growth. A new type of features with a hexagonal shape are observed in the layers grown in hydrogen atmosphere. The morphological details of the features have been studied with optical microscopy and atomic force microscopy. An interactive relation of the defect appearance with the step flow growth mode seems to be present. The results are compared with growth in vacuum, argon, and helium conditions. The possible influence of thermal component to a reactive one in hydrogen etching is discussed.
Ämnesord och genrebeteckningar
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Ciechonski, Rafal R.Linköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan(Swepub:liu)rafci91
(författare)
-
Yazdi, Gholamreza R.,1966-Linköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan(Swepub:liu)ghoya53
(författare)
-
Yakimova, RositsaLinköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan(Swepub:liu)rosia15
(författare)
-
Linköpings universitetHalvledarmaterial
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Journal of Crystal Growth: Elsevier BV275:1-2, s. e1103-e11070022-02481873-5002
Internetlänk
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas