SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

WFRF:(Gueorguiev Gueorgui Kostov)
 

Sökning: WFRF:(Gueorguiev Gueorgui Kostov) > (2020-2024) > Reactive sputtering...

  • Högberg, HansLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten (författare)

Reactive sputtering of CSx thin solid films using CS2 as precursor

  • Artikel/kapitelEngelska2020

Förlag, utgivningsår, omfång ...

  • PERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTD,2020
  • electronicrdacarrier

Nummerbeteckningar

  • LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:liu-171390
  • https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-171390URI
  • https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2020.109775DOI

Kompletterande språkuppgifter

  • Språk:engelska
  • Sammanfattning på:engelska

Ingår i deldatabas

Klassifikation

  • Ämneskategori:ref swepub-contenttype
  • Ämneskategori:art swepub-publicationtype

Anmärkningar

  • Funding Agencies|Swedish Government Strategic Research Area in Materials Science on Advanced Functional Materials at Linkoping University [SFO-Mat-LiU 2009-00971]; Swedish Research Council (VR) through FLAG-ERA JTC 2015 project GRIFONESwedish Research Council [VR 2015-06816, VR 2017-04071]; Aforsk grant [18-266]; VRSwedish Research Council [VR 2016-05362]; Knut and Alice Wallenberg (KAW) FoundationKnut & Alice Wallenberg Foundation [KAW 2015.0043]
  • We deposit CSx thin solid films by reactive direct current magnetron sputtering of a C target in an argon plasma, using carbon disulfide (CS2) as a precursor to film growth. We investigate the influence of the partial pressure of the CS2 vapor introduced into the plasma on the composition, the chemical bonding structure, the structural, and the mechanical properties as determined by x-ray photoelectron spectroscopy (XPS), Raman spectroscopy, scanning electron microscopy (SEM), and nanoindentation for films deposited at 150 and 300 degrees C. The Raman and the XPS results indicate that S atoms are incorporated in mostly sp(2) bonded C network. These results agree with previous ab-initio theoretical findings obtained by modeling of the CSx compound by the Synthetic Growth Concept. The microstructure of the films as well as the results of their Raman characterization and the nano mechanical testing results all point out that with the increasing S content some spa bonding is admixed in the predominantly sp(2) bonded CSx network, leading to typical amorphous structure with short and interlocked graphene-like planes for S contents between 2% and 8%. We conclude that CSx thin solid films deposited by using CS2 as a precursor would be CSx films deposited at low temperature of similar to 150 degrees C and with an S content in the region of 6 at.% may be interesting candidates for applications as hard/elastic protective coatings.

Ämnesord och genrebeteckningar

Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)

  • Lai, Chung-ChuanLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten,European Spallat Source ERIC, Sweden(Swepub:liu)chula14 (författare)
  • Broitman, EstebanLinköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi,Tekniska fakulteten(Swepub:liu)broes27 (författare)
  • Ivanov, Ivan GueorguievLinköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska fakulteten(Swepub:liu)ivaiv28 (författare)
  • Goyenola, CeciliaLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten(Swepub:liu)cecgo25 (författare)
  • Näslund, Lars-ÅkeLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten(Swepub:liu)larna84 (författare)
  • Schmidt, SusannLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten,IHI Ionbond AG, Switzerland(Swepub:liu)sussc11 (författare)
  • Hultman, LarsLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten(Swepub:liu)larhu75 (författare)
  • Rosén, JohannaLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten(Swepub:liu)johro07 (författare)
  • Gueorguiev, Gueorgui KostovLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten(Swepub:liu)guegu96 (författare)
  • Linköpings universitetTunnfilmsfysik (creator_code:org_t)

Sammanhörande titlar

  • Ingår i:Vacuum: PERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTD1820042-207X1879-2715

Internetlänk

Hitta via bibliotek

  • Vacuum (Sök värdpublikationen i LIBRIS)

Till lärosätets databas

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy