Dense and hard TiWC protective coatings grown with tungsten ion irradiation using WC-HiPIMS/TiC-DCMS co-sputtering technique without external heating

↓ Direkt till sidans innehåll
↓ Direkt till sidans sekundära innehåll (sidomenyn)

Sökning: WFRF:(Boyd Peter) > Dense and hard TiWC...

Hsu, Tun-Wei,1991-Linköpings universitet,Nanostrukturerade material,Tekniska fakulteten (författare)

Dense and hard TiWC protective coatings grown with tungsten ion irradiation using WC-HiPIMS/TiC-DCMS co-sputtering technique without external heating

Artikel/kapitelEngelska2023

Förlag, utgivningsår, omfång ...

Elsevier,2023
electronicrdacarrier

Nummerbeteckningar

LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:liu-191779
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-191779URI
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.156639DOI

Kompletterande språkuppgifter

Språk:engelska
Sammanfattning på:engelska

Ingår i deldatabas

SwePubSwePub

Klassifikation

Ämneskategori:ref swepub-contenttype
Ämneskategori:art swepub-publicationtype

Anmärkningar

Funding: VINNOVA (FunMat-II project ) [2016-05156]; Swedish Research Council [2017-03813, 2017-06701]; Swedish government strategic research area grant AFM - SFO MatLiU [2009- 00971]
Titanium tungsten carbide (TiWC) coatings are deposited by a combined high-power impulse and dc magnetron co-sputtering (HiPIMS/DCMS) technique. No external heating is applied during deposition phase, instead, the thermally driven adatom mobility is substituted by heavy ion irradiation. DCMS sources equipped with titanium carbide targets provide constant neutral fluxes to establish the predominant coating structures, whereas tungsten carbide target in HiPIMS mode serves as the source of heavy metal-ions. Substrate bias of −60 V is synchronized to W+ ion-rich time domains of HiPIMS pulses to minimize the contribution from working gas ions. The influence of W+ ion flux intensity, controlled by varying peak target current density (JT), on film properties is investigated. X-ray photoelectron spectroscopy reveals the presence of over stoichiometric carbon forming an amorphous phase, the amount of which can be fine-tuned by varying JT. Changes in film composition as a function of JT are explained based on the in-situ ion mass spectroscopy analyses. Dense TiWC coatings by hybrid process exhibit hardness higher than 30 GPa, which are comparable to TiWC films deposited by DCMS with dc substrate bias and external heating. The relative energy consumption in the hybrid process is reduced by 77 % as compared to high-temperature DCMS processing.

Ämnesord och genrebeteckningar

NATURVETENSKAP Fysik Den kondenserade materiens fysik hsv//swe
NATURAL SCIENCES Physical Sciences Condensed Matter Physics hsv//eng
TEKNIK OCH TEKNOLOGIER Nanoteknik hsv//swe
ENGINEERING AND TECHNOLOGY Nano-technology hsv//eng

Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)

Greczynski, Grzegorz,1973-Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten(Swepub:liu)grzgr49 (författare)
Boyd, Robert,1972-Linköpings universitet,Nanostrukturerade material,Tekniska fakulteten(Swepub:liu)robbo87 (författare)
Kolozsvári, SzilárdPlansee Composite Materials GmbH, Lechbruck am See, DE-86983, Germany (författare)
Polcik, PeterPlansee Composite Materials GmbH, Lechbruck am See, DE-86983, Germany (författare)
Odén, Magnus,1965-Linköpings universitet,Nanostrukturerade material,Tekniska fakulteten(Swepub:liu)magod41 (författare)
Linköpings universitetNanostrukturerade material (creator_code:org_t)

Sammanhörande titlar

Ingår i:Applied Surface Science: Elsevier6180169-43321873-5584

Internetlänk

Hitta via bibliotek

Applied Surface Science (Sök värdpublikationen i LIBRIS)

Till lärosätets databas

Hitta mer i SwePub

Av författaren/redakt...: Hsu, Tun-Wei, 19 ...; Greczynski, Grze ...; Boyd, Robert, 19 ...; Kolozsvári, Szil ...; Polcik, Peter; Odén, Magnus, 19 ...

Om ämnet

NATURVETENSKAP: NATURVETENSKAP; och Fysik; och Den kondenserade ...

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER: TEKNIK OCH TEKNO ...; och Nanoteknik

Artiklar i publikationen: Applied Surface ...

Av lärosätet: Linköpings universitet

Sök utanför SwePub

Sök vidare i:: Google; Google Book Search; Google Scholar

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

LIBRIS.kb.se