Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:liu-24577" >
Microstructural cha...
-
Polychroniadis, E
(författare)
Microstructural characterization of very thick freestanding 3C-SiC wafers
- Artikel/kapitelEngelska2004
Förlag, utgivningsår, omfång ...
-
Elsevier BV,2004
-
printrdacarrier
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:liu-24577
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-24577URI
-
https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2003.10.092DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:art swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
The microstructural characteristics of 300μm thick freestanding 3C-SiC wafers, provided by HOYA, were studied by transmission electron microscopy. The observed defects were mainly stacking faults (SFs), microtwins and inversion domain boundaries (IDBs). The defect density is reduced fast from the SiC/Si interface up to the first 20μm, and then it remains constant up to the surface, suggesting a defect growth and elimination mechanism. At the uppermost part of the film the distribution of the SFs is very inhomogeneous, large zones were completely free of SFs with the SFs mainly concentrating in areas where IDBs exist and their density was lower by more than one order of magnitude than the SFs. 3C-SiC 40μm thick layers were grown on the wafers by sublimation epitaxy. Optical micrographs of these layers exhibit macro-features different from the substrate, but still indicating large bands of SFs.
Ämnesord och genrebeteckningar
-
NATURAL SCIENCES
-
NATURVETENSKAP
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Syväjärvi, Mikael,1968-Linköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi(Swepub:liu)miksy08
(författare)
-
Yakimova, Rositsa,1942-Linköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi(Swepub:liu)rosia15
(författare)
-
Stoemenos, J
(författare)
-
Linköpings universitetInstitutionen för fysik, kemi och biologi
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Journal of Crystal Growth: Elsevier BV263:1-4, s. 68-750022-02481873-5002
Internetlänk
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas