Sökning: WFRF:(Tungasmita Sukkaneste) >
Generalized infrare...
Generalized infrared ellipsometry study of thin epitaxial AlN layers with complex strain behavior
-
- Darakchieva, Vanya (författare)
- Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial
-
- Schubert, M. (författare)
- Fak. für Phys./Geowiss., Iniversität Leipzig, 04103 Leipzig, Germany
-
- Birch, Jens (författare)
- Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Tunnfilmsfysik
-
visa fler...
-
Kasic, A. (författare)
-
- Tungasmita, Sukkaneste (författare)
- Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Institutionen för fysik, kemi och biologi
-
- Paskova, Tanja (författare)
- Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Institutionen för fysik, kemi och biologi
-
- Monemar, Bo (författare)
- Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- Elsevier BV, 2003
- 2003
- Engelska.
-
Serie: PHYSICA B-CONDENSED MATTER, 0921-4526 ; 340
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- The effect of film thickness on the strain and structural properties of thin epitaxial AlN films has been investigated, and a sub-layer model of the degree of strain and related defects for all films is suggested. The vibrational properties of the films have been studied by generalized infrared spectroscopic ellipsometry. The proposed sub-layer model has been successfully applied to the analysis of the ellipsometry data trough model calculations of the infrared dielectric function. © 2003 Elsevier B.V. All rights reserved.
Nyckelord
- AlN
- Infrared ellipsometry
- Phonons
- Strain
- TECHNOLOGY
- TEKNIKVETENSKAP
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)