Sökning: (WAKA:ovr) pers:(Hultman Lars) >
Structural, electri...
-
Broitman, E.College of William and Mary, Williamsburg, Virginia
(författare)
Structural, electrical, and optical properties of diamondlike carbon films deposited by dc magnetron sputtering
Förlag, utgivningsår, omfång ...
-
American Vacuum Society,2003
-
printrdacarrier
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:liu-46454
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-46454URI
-
https://doi.org/10.1116/1.1617277DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:vet swepub-contenttype
-
Ämneskategori:ovr swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
Letters
-
The electrical and optical properties of diamondlike carbon films deposited by direct current magnetron sputtering on Si substrates at room temperature have been measured as a function of the ion energy (Eion) and ion-to-carbon flux (Jion/JC). The results show that, in the ranges of 5 eV⩽Eion⩽85 eV and 1.1⩽Jion/JC⩽6.8, the presence of defective graphite formed by subplanted C and Ar atoms, voids, and the surface roughness, are the dominant influences on the resistivity and optical absorption
Ämnesord och genrebeteckningar
-
TECHNOLOGY
-
TEKNIKVETENSKAP
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Lindquist, O.P.A.Linköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi,Tekniska högskolan
(författare)
-
Hellgren, N.University of Illinois, Urbana
(författare)
-
Hultman, LarsLinköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska högskolan(Swepub:liu)larhu75
(författare)
-
Holloway, B.C.College of William and Mary, Williamsburg, Virginia
(författare)
-
College of William and Mary, Williamsburg, VirginiaInstitutionen för fysik, kemi och biologi
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films: American Vacuum Society0734-21011520-8559
Internetlänk
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas